MEMS devices leverage the same equipment and processes used for semiconductor devices to create microscale sensors and actuators that drive innovation across a wide range of technologies in modern society. Through this course, learners will be able to demonstrate how these processes are specifically used for MEMS fabrication and highlight some differences from semiconductor fabrication. Key applications in consumer, industrial, aerospace, and medical applications are highlighted and described in more detail.
Introduction to Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Introduction to Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Ce cours fait partie de Spécialisation Introduction to Semiconductor and MEMS Fabrication
Instructeurs : Rama Prasad
Inclus avec 
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niveau Intermédiaire
Expérience recommandée
9 heures à compléter
Planning flexible
Apprenez à votre propre rythme
Compétences que vous acquerrez
- Catégorie : Medical Equipment and Technology
- Catégorie : Engineering, Scientific, and Technical Instruments
- Catégorie : Physics
- Catégorie : Mechanical Engineering
- Catégorie : Manufacturing Processes
- Catégorie : Emerging Technologies
- Catégorie : Electronics Engineering
- Catégorie : Micrometer
- Catégorie : Design Specifications
- Catégorie : Semiconductors
Détails à connaître
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Récemment mis à jour !
août 2025
Évaluations
8 devoirs
Enseigné en Anglais
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Ce cours fait partie de la Spécialisation Introduction to Semiconductor and MEMS Fabrication
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Il y a 3 modules dans ce cours
In this module, we dive into some of the specifics involved in the creation of MEMS devices. We begin by briefly covering some of the physical phenomena used in MEMS devices and then discuss the differences between bulk and surface micromachining fabrication processes. Lastly, we provide more detail around requirements and techniques used in the packaging for MEMS.
Inclus
3 vidéos2 lectures3 devoirs
This Module covers the field of Micro Electromechanical Systems from the MEMS device design and system specification point of view. The most widely deployed MEMS inertial sensors and MEMS pressure sensors device model, design and fabrication are introduced. Ongoing development of transducer architecture for various applications is presented.
Inclus
2 vidéos4 lectures2 devoirs8 plugins
In this module, we discuss the application of MEMS fabrication techniques and MEMS devices to the field of medical applications. We highlight key design considerations and device testing that are specific for devices used in the medical field. Some commercial examples of MEMS medical devices are reviewed and two technologies with unique medical applications, microfluidics and microelectrodes, are discussed in more detail.
Inclus
3 vidéos2 lectures3 devoirs
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